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一种透明导电薄膜结构及其制作方法

时间:2021/10/4 16:23:00 点击:

  核心提示:一种透明导电薄膜结构及其制作方法,所述透明导电薄膜结构具有基板和金属网格;包括如下步骤:提供由玻璃或石英制成的基板;在所述基板的至少1个表面镀金属氧化物层;在所述金属氧化物层的表面制作光刻胶层,然后对...
一种透明导电薄膜结构及其制作方法,所述透明导电薄膜结构具有基板和金属网格;包括如下步骤:提供由玻璃或石英制成的基板;在所述基板的至少1个表面镀金属氧化物层;在所述金属氧化物层的表面制作光刻胶层,然后对光刻胶层进行刻蚀处理,使得光刻胶层内形成与所述金属网格匹配的凹槽;以所述金属氧化物层为阴极,镀层金属为阳极,电镀,在金属氧化物层的表面形成金属网格;然后,去除剩余的光刻胶层,获得透明导电薄膜结构成品。本发明的工艺简单,无需金属纳米粒子等电镀阴极材料,适合工业化生产,可以基于金属氧化物和金属网格得到更加优化的透明导电薄膜结构。

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