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1、单晶硅晶片及单晶硅的制造方法2、绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法3、分离单晶硅埚底料中石英的工艺4、单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法5、直径300mm及30...
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一种碳化硅栅极氧化层迁移率改善的制作方法，其特征在于，包括：提供碳化硅基板；形成沟槽结构于碳化硅基板之中；形成单晶硅层于沟槽结构之上；进行热氧化以在该单晶硅层之上形成顶部氧化层、底...
一种微型可编程浪涌防护器件及其制作工艺，包括以下步骤：在N型单晶硅片的背面扩散一层浓磷；在高温下进行浓磷再扩散，形成器件内二极管的阴极区和三极管的集电区；在硅片正面进行液态硼源扩散...
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1、硅薄膜太阳电池用P型窗口层及其制备方法2、一种非晶硅太阳能电池的制造方法3、硅基纳米柱阵列异质结薄膜太阳能电池及其制备方法4、一种基于熔铸法的金属硅太阳能电池衬底制备工艺5、太...
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