一种微同轴结构的制作方法

一种微同轴结构的制作方法，包括：在衬底上形成微同轴底层；在微同轴底层上形成支撑层，并在支撑层上形成微同轴的内轴；在衬底上形成覆盖微同轴底层、支撑层以及内轴的纳米压印胶层，并采用预置压印模具在纳米压印胶层上进行压印，待纳米压印胶固化后取出压印模具，以在纳米压印胶层形成两个延伸至微同轴底层的凹槽；在每个凹槽内填充金属，形成微同轴侧壁；在微同轴侧壁上形成微同轴顶层，并去除纳米压印胶层，得到微同轴结构。该制作方法能够通过更简单的工艺过程，得到侧壁更整齐的微同轴结构，以满足更高精度的微型器件的工艺要求。

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