半导体结构及其制作方法

一种半导体结构及其制作方法，半导体结构的制作方法包括：提供衬底和位于所述衬底上的多个分立的位线结构，所述位线结构内具有金属层，所述金属层顶面低于所述位线结构顶面；形成填充于相邻所述位线结构之间的第一隔离膜，所述第一隔离膜顶面高于所述金属层顶面且低于所述位线结构顶面；在所述位线结构顶部和侧壁以及所述第一隔离膜顶面形成第一介质膜；采用无掩膜干法刻蚀工艺，刻蚀去除位于所述位线结构顶部和所述第一隔离膜顶面的所述第一介质膜，形成第一介质层，且刻蚀去除所述第一介质层暴露的所述第一隔离膜，形成位于所述第一介质层正下方的第一隔离层。本发明有利于降低半导体结构的制作成本。

以上没写价格的,全套专利技术资料仅需260元至3980元,具体联系我们!

联系电话：0575-86879949 手机：13967599949  QQ:12234598 谢谢合作！有需要请直接打电话联系。每项专利技术资料均为国家正式专利全文说明书。含技术配方、加工工艺、权利要求书、说明书或附图等。说明：我们只是提供专利原文查询业务，不销售相关的产品、设备! 请谅解！

　

• ·磷酸奥司他韦胶囊制备方法专利技术
• ·塑料加工助剂配方生产工艺技术方法
• ·干粉砂浆配方技术,干粉砂浆生产工艺制作方法
• ·益生菌饲料配方大全,益生菌饲料制作方法技术工艺
• ·石墨烯防腐涂料配方,石墨烯防腐涂料生产工艺技术专利,石墨烯防腐涂料制备方法
• ·卷绕铁芯制造方法专利技术资料
• ·污泥改性剂配方技术方法
• ·陶瓷素坯制备工艺方法专利技术
• ·复合改性剂配方生产工艺技术制备方法
• ·亚微米球制备方法,亚微米球相关专利技术
• ·水性聚氨酯胶黏剂制备工艺方法技术专利
• ·低温锂离子电池制作方法专利技术
• ·新型杀菌剂制备方法专利技术
• ·洗发膏配方,洗发膏制备方法工艺技术
• ·无水炮泥生产工艺,无水炮泥配方技术制备方法
• ·木霉菌培养方法,木霉菌加工相关专利技术
• ·保健饲料配方,保健饲料生产工艺技术,保健饲料制作方法
• ·钛酸酯相关制备方法专利技术
• ·耐热稀土镁合金制备方法,耐热稀土镁合金熔铸工艺技术
• ·复合胶黏剂配方生产工艺技术制备方法