HKMG结构制作方法

一种HKMG结构制作方法，包括以下步骤：优化在衬底上的N型金属栅区域和P型金属栅区域形成顺序，依次形成栅氧化层、高K介质层、可选过渡层、P型功函数刻蚀停止层、P型功函数层和伪多晶硅栅刻蚀停止层；N型金属栅区域和P型金属栅区域执行伪多晶硅栅工艺；去除伪多晶硅栅；打开N型金属栅区域的伪多晶硅栅刻蚀停止层；去除N型金属栅区域的P型功函数层；形成N型功函数层；形成金属栅。本发明能在不增加工艺步骤的前提下，能有效控制HKMG工艺中常见的铝扩散问题，并减少P型金属栅填充时film层数，从而可以有效增大AL填充窗口，优化金属栅Al填充缺陷，提高HKMG结构器件性能。

以上没写价格的,全套专利技术资料仅需260元至3980元,具体联系我们!

联系电话：0575-86879949 手机：13967599949  QQ:12234598 谢谢合作！有需要请直接打电话联系。每项专利技术资料均为国家正式专利全文说明书。含技术配方、加工工艺、权利要求书、说明书或附图等。说明：我们只是提供专利原文查询业务，不销售相关的产品、设备! 请谅解！

　

• ·防滑涂料配方生产工艺技术制备方法
• ·流变改性剂制备方法专利技术
• ·土豆专用肥料配方技术,土豆专用肥料制备方法
• ·氮化物催化剂配方技术制备方法及应用
• ·三元乙丙橡胶复合材料制备方法专利技术
• ·蟠桃专用肥料配方生产工艺技术方法
• ·菲并咪唑制备方法专利技术
• ·专用清洗剂制备方法,专用清洗剂配方技术专利
• ·肉仔鹅饲料配方技术制备方法
• ·椒专用肥料配方,椒专用肥料生产工艺技术方法
• ·导热硅脂制备方法配方技术专利
• ·PVC改性剂合成方法及生产工艺技术配方
• ·甘蔗专用肥料配方生产工艺技术制备方法
• ·肉猪饲料配方技术制备方法
• ·纳米封堵剂制备方法专利技术配方
• ·磷酸钙骨水泥生产工艺技术制备方法
• ·再生改性剂技术配方,再生改性剂制备方法
• ·青光荧光粉制备方法专利技术
• ·井冈霉素复配大全,井冈霉素制备方法专利技术
• ·茶叶专用肥料配方生产工艺技术制备方法