- FINFET器件的鳍片制作方法 2021-09-30 点击：105
- 一种用于减少寄生电容的FINFET的空气侧墙制作方法 2021-09-16 点击：267
一种FinFET器件的鳍片制作方法，包括以下步骤：步骤S1、在半导体衬底(100)上蚀刻出蚀刻槽(110)，以使邻近两个蚀刻槽(110)之间形成鳍片(200)；步骤S2、在蚀刻槽(...
一种用于减少寄生电容的FinFET的空气侧墙制作方法，位于基底上的源区外延区和漏区外延区；栅极结构包括：金属栅；包围金属栅侧壁和底部的功函数层；依附于功函数层侧壁的内侧墙；依附于内...
