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一种基于金属压印的载板填孔工艺，包括以下步骤：(1)对待填孔的载板表面进行预处理，使载板表面与金属不具有结合力；(2)将填充基材覆盖在载板表面；(3)对填充基材施加垂直于载板表面的...
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本发明涉及传感器领域，特别涉及一种双空腔压力计芯片以及其制造方法。所述压力计芯片包括相互键合的盖板、基板以及底板；盖板底面形成有凹陷部，盖板凹陷部与基板形成上空腔；基板底面形成有凹...
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