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  • 外延薄膜生产工艺制备方法专利技术 2022-10-31 点击:314
  • 1、外延薄膜形成的方法与装置2、外延薄膜表面保护测试技术3、一种氧化铟单晶外延薄膜的制备方法4、外延薄膜厚度测量方法5、降低外延薄膜缺陷的退火方法及利用该方法得到的外延薄膜6、氧化...
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