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一种平面型无寄生电容的有机场效应晶体管的制作方法：1)在玻璃基底表面用钼片掩模，热蒸镀铬作为金与玻璃的黏附层，再蒸镀金电极作为源电极和漏电极，然后利用光刻在金电极上做出预设的栅极图...
一种用于减少寄生电容的FinFET的空气侧墙制作方法，位于基底上的源区外延区和漏区外延区；栅极结构包括：金属栅；包围金属栅侧壁和底部的功函数层；依附于功函数层侧壁的内侧墙；依附于内...
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