等离子体处理设备装置生产技术制造工艺专利技术

01、等离子体处理装置 
02、等离子体处理装置和等离子体处理方法以及存储介质 
03、通过分配多个VHF源中功率改善晶圆上等离子体处理均匀性 
04、等离子体处理装置和等离子体处理方法 
05、用于等离子体处理腔的元件的石英表面的湿清洁方法 
06、等离子体氮化处理方法、半导体装置的制造方法和等离子体处理装置 
07、等离子体处理设备 
08、用于等离子体处理塑料组件的系统 
09、等离子体处理装置 
10、微波等离子体处理装置 
11、保护在适于在等离子体处理系统中使用的基片支撑件中的粘结层的方法 
12、离子源和等离子体处理装置 
13、基板保持机构和等离子体处理装置 
14、注射型等离子体处理设备和方法 
15、等离子体处理装置 
16、用于等离子体处理设备的等离子体增强器 
17、等离子体处理装置 
18、化纤面料常压等离子体处理方法 
19、聚焦环和等离子体处理装置 
20、等离子体处理设备 
21、等离子体处理方法 
22、微波等离子体处理装置、其制造及使用方法、一体型槽形成部件 
23、微波等离子体处理装置、电介质窗制造方法和微波等离子体处理方法 
24、氧化硅膜的制造方法、其控制程序、存储介质和等离子体处理装置 
25、等离子体处理方法和系统 
26、等离子体处理装置和可变阻抗装置的校正方法 
27、等离子体处理装置及其运转处理方法和电子装置制造方法 
28、聚焦环和等离子体处理装置 
29、等离子体处理系统中确定清洁或调节处理终点的方法和装置 
30、等离子体处理装置和等离子体处理方法以及存储介质 
31、用于维护具有机器人的等离子体处理系统的装置 
32、载置装置、等离子体处理装置和等离子体处理方法 
33、具有接地构件完整性指示器的等离子体处理室及其使用方法
34、气态流出物的常压等离子体处理 
35、电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 
36、用于调整一组等离子体处理步骤的方法和装置 
37、低温等离子体处理装置 
38、橡胶组合物、等离子体处理装置用密封材料 
39、选择性等离子体处理方法 
40、等离子体处理装置及其所使用的电极 
41、用于等离子体处理系统中控制多区喷嘴的耐腐蚀设备 
42、测量自偏压来监控等离子体处理系统中处理的方法和装置 
43、通过测量阻抗监控等离子体处理系统中处理的方法和装置 
44、测量等离子体频率监控等离子体处理系统中处理的方法和装置 
45、等离子体处理装置和等离子体处理方法 
46、表面波激发等离子体产生装置以及表面波激发等离子体处理装置 
47、等离子体处理方法 
48、大气压等离子体处理纤维束或纤维线绳表面装置及方法 
49、表面波激发等离子体处理装置 
50、用于等离子体处理的方法 
51、从用于等离子体处理设备的硅和碳化硅电极表面除去黑硅和黑碳化硅的方法 
52、处理气体导入机构和等离子体处理装置 
53、等离子体处理和将粘结剂/密封剂分配到部件的设备和方法 
54、颜料墨水数字喷墨印花用织物的低温等离子体处理工艺 
55、一种用于织物后整理的常压等离子体处理方法 
56、等离子体处理设备，用于其电极构件及电极构件制造和重复利用方法 
57、等离子体处理装置用的载置台以及等离子体处理装置 
58、等离子体处理装置以及气体通过板 
59、感性耦合的等离子体处理系统 
60、用多缝隙天线的表面波等离子体处理装置 
61、等离子体处理器线圈 
62、等离子体处理装置 
63、等离子体蚀刻方法和等离子体处理装置 
64、等离子体处理法、等离子体蚀刻法、固体摄像元件的制法 
65、聚焦环和等离子体处理装置 
66、高频电源及其控制方法、和等离子体处理装置 
67、颗粒除去装置和颗粒除去方法及等离子体处理装置 
68、防止微粒附着装置和等离子体处理装置 
69、真空等离子体处理器及其操作方法 
70、静电吸附装置、等离子体处理装置及等离子体处理方法 
71、一种减少通孔侧壁上MOCVD TiN膜厚的等离子体处理工艺 
72、用于产生等离子体的天线和包括其的等离子体处理装置 
73、窗型探针、等离子体监视装置及等离子体处理装置 
74、等离子体处理装置及其隔板 
75、微波激励的等离子体处理设备 
76、等离子体处理装置及半导体制造装置 
77、等离子体处理方法和老化结束检测方法以及等离子体处理装置 
78、等离子体处理装置用电极及等离子体处理装置 
79、等离子体产生设备及等离子体处理设备 
80、用于最小化等离子体处理室内的电弧的装置和方法 
81、等离子体处理设备和等离子体产生方法 
82、电极同时响应于多频的等离子体处理器 
83、低温等离子体处理工业废气中H2S和C2S的方法 
84、磁控等离子体处理装置 
85、等离子体处理设备以及设计等离子体处理设备的方法 
86、等离子体处理系统中的整合阶梯式统计过程控制 
87、电极同时响应于多频的等离子体处理器 
88、用于等离子体处理系统中的改进的折流板的方法和设备 
89、等离子体处理室中的边缘环磨损的补偿的方法和装置 
90、一种利用高频等离子体处理固体有机废弃物的方法 
91、用于创建等离子体处理系统的数学模型的方法和阵列 
92、用于检查等离子体处理系统中接触孔的方法和装置 
93、等离子体处理的金属化膜 
94、采用具有等离子体处理系统的光学系统的装置和方法 
95、等离子体处理装置和可变阻抗装置的校正方法 
96、感应耦合等离子体处理装置 
97、等离子体处理容器的再生方法、等离子体处理容器内部部件、等离子体处理容器内部部件的制造方法以及等离子体...... 
98、一种冷等离子体处理方法 
99、具有局部有效电感等离子体耦合的等离子体处理系统 
100、等离子体处理室 
101、用于等离子体处理中故障识别的方法
102、一种抗反射膜SiON表面CH4等离子体处理方法 
103、抗反射膜SiON表面氢等离子体处理方法 
104、一种用于纤维表面改性的常压低温等离子体处理装置 
105、具有甚高频并联谐振天线的等离子体处理设备
106、等离子体处理装置及其所使用的电极