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单晶金刚石生产方法制备工艺技术专利

时间:2024/10/18 14:03:00 点击:

  核心提示:1、组合式基片台、单晶金刚石的制备方法2、单晶金刚石声子晶体及其制备方法、量子器件3、一种用于单晶金刚石生长的支架结构、一种单晶金刚石的生长方法4、一种大尺寸单晶金刚石的制备方法5、一种超薄、超低表面...
1、组合式基片台、单晶金刚石的制备方法
2、单晶金刚石声子晶体及其制备方法、量子器件
3、一种用于单晶金刚石生长的支架结构、一种单晶金刚石的生长方法
4、一种大尺寸单晶金刚石的制备方法
5、一种超薄、超低表面粗糙度自支撑单晶金刚石膜的制备方法
6、周期性振幅与脉宽调制时空能量生长单晶金刚石的方法
7、一种基于MPCVD的单晶金刚石的拼接生长工艺
8、单晶金刚石生长用基底及单晶金刚石的制造方法
9、单晶金刚石外延片及其制备方法
10、一种基于MPCVD法生产渐变粉色单晶金刚石的方法
11、大尺寸单晶金刚石的制备方法
12、一种双圆台衬底托辅助异质外延大尺寸单晶金刚石的方法
13、一种用MPCVD法阶梯性掺氮生长单晶金刚石的方法
14、一种特殊晶型工业大单晶金刚石的制备方法
15、一种钕掺杂单晶金刚石及其制备方法
16、一种单晶金刚石的生产方法
17、一种掺杂金属纳米颗粒的单晶金刚石抛光液及其制备方法
18、基于异质外延生长单晶金刚石的方法
19、一种大尺寸单晶金刚石晶片的制备方法
20、一种单晶金刚石外延生长方法
21、一种均匀化烧蚀单晶金刚石的方法
22、一种同质外延单晶金刚石的制备方法
23、一种基于微波等离子体化学气相沉积技术合成单晶金刚石的方法
24、一种去除多晶缺陷的高品质单晶金刚石制备方法
25、一种MPCVD单晶金刚石的生长方法
26、一种MPCVD同质外延扩大单晶金刚石晶面的工艺方法
27、一种单晶金刚石的制备方法
28、一种单晶金刚石的加工方法
29、一种纯化单晶金刚石的方法
30、CVD单晶金刚石
31、一种组装式合成大尺寸单晶金刚石的方法
32、一种单晶金刚石的合成方法
33、一种基于侧面键合拼接生长大尺寸单晶金刚石的方法
34、一种单晶金刚石的制备方法
35、一种用于提高CVD单晶金刚石生长数量的单晶金刚石制造方法
36、一种切割面直接生长制备CVD单晶金刚石的工艺
37、一种化学气相沉积制备单晶金刚石的方法
38、合成单晶金刚石及其制造方法
39、一种MPCVD法生产单晶金刚石的方法
40、一种单晶金刚石及制备方法
41、一种单晶金刚石的培育方法
42、大尺寸单晶金刚石及其制备方法
43、单晶金刚石生长用沉积基底及单晶金刚石的制造方法
44、一种单晶金刚石多片共同生长的制备方法
45、一种提高单晶金刚石质量的方法
46、一种同质/异质混合外延生长大尺寸单晶金刚石的制备方法
47、衬底及衬底的拼接方法和单晶金刚石的制备方法
48、一种利用Pt系金属作为Ir缓冲层制备异质外延单晶金刚石的方法
49、一种静态生长单晶金刚石的制备方法
50、一种生产纯化单晶金刚石的方法
51、一种制备多孔单晶金刚石的方法
52、一种生产单晶金刚石的方法
53、一种大尺寸单晶金刚石的抛光方法
54、一种单晶金刚石芯片的制备方法
55、一种多色单晶金刚石生长方法
56、一种高速率生长单晶金刚石的方法
57、一种大尺寸单晶金刚石的制备方法
58、一种合成单晶金刚石的方法

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