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碳化硅单晶生产方法专利技术

时间:2023/11/1 11:24:55 点击:

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1、制备碳化硅单晶的方法
2、生产碳化硅单晶的方法
3、碳化硅单晶和碳化硅单晶的制造方法
4、碳化硅单晶的制造方法
5、碳化硅单晶的生长方法
6、制造碳化硅单晶的方法
7、块状碳化硅单晶的生产
8、半绝缘碳化硅单晶
9、碳化硅单晶的清洗方法
10、碳化硅单晶的制备方法
11、碳化硅单晶生长装置
12、碳化硅单晶的制造方法
13、生长碳化硅单晶的方法
14、碳化硅单晶生长装置及制造碳化硅单晶的方法
15、高品质大碳化硅单晶的制备方法及用其制备的碳化硅单晶
16、碳化硅单晶生长装置及制造碳化硅单晶的方法
17、低微管密度碳化硅单晶制备方法及碳化硅单晶
18、一种碳化硅单晶生长方法及碳化硅单晶
19、一种碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶的生长方法
20、一种高质量碳化硅单晶的制备方法及碳化硅单晶
21、一种高质量碳化硅单晶的制备方法及碳化硅单晶
22、块状碳化硅单晶生长的制备方法
23、碳化硅单晶及其蚀刻方法
24、碳化硅粉末和碳化硅单晶的制造方法
25、一种生长低缺陷碳化硅单晶的方法
26、一种半绝缘碳化硅单晶的制备方法
27、一种碳化硅单晶生长方法
28、碳化硅单晶的连续长晶方法
29、一种高纯碳化硅单晶的生长方法
30、一种碳化硅单晶衬底的加工方法
31、一种生长大尺寸碳化硅单晶的方法
32、一种碳化硅单晶晶片制造工艺
33、一种碳化硅单晶的生长方法
34、一种籽晶托及碳化硅单晶生长方法
35、一种碳化硅单晶及其生产方法和应用
36、一种导电型碳化硅单晶及其制备方法
37、一种掺杂碳化硅单晶及其制备方法
38、一种大直径碳化硅单晶及其制备方法
39、一种制备碳化硅单晶的方法
40、一种碳化硅单晶的制备方法
41、一种碳化硅单晶的制备方法
42、碳化硅单晶体的制备方法
43、一种8英寸碳化硅单晶的制备方法
44、减少碳包裹的碳化硅单晶的制备方法
45、一种电阻式方形碳化硅单晶生长工艺
46、一种制备碳化硅单晶的方法
47、一种碳化硅单晶的制备方法
48、一种高质量碳化硅单晶生长方法
49、一种碳化硅单晶的制备方法

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