核心提示：1、硬掩模材料2、硬掩模表面处理3、硅基硬掩模4、用于制造硬掩模的方法和硬掩模结构5、氮掺杂的非晶碳硬掩模6、硬掩模及制造硬掩模的方法7、复合可移除硬掩模8、金属硬掩模的制造9、双硬掩模光刻工艺10、...
1、硬掩模材料2、硬掩模表面处理
3、硅基硬掩模
4、用于制造硬掩模的方法和硬掩模结构
5、氮掺杂的非晶碳硬掩模
6、硬掩模及制造硬掩模的方法
7、复合可移除硬掩模
8、金属硬掩模的制造
9、双硬掩模光刻工艺
10、金属硬掩模开口刻蚀方法
11、用于鲁棒金属化剖面的双层硬掩模
12、用于鳍型场效应晶体管的复合硬掩模
13、一种氧含量递增的硬掩模
14、用于多图案化应用的光调谐硬掩模
15、用于横向裁剪硬掩模的方法
16、用于图案化磁性隧道结的硬掩模
17、用于垂直NAND孔蚀刻的镀覆金属硬掩模
18、PECVD含钨硬掩模膜及制造方法
19、一种硬掩模及其制备方法
20、一种刻蚀磁性隧道结导电硬掩模的方法
21、一种制备磁性随机存储器导电硬掩模的方法
22、一种大面积超薄镂空硬掩模的制备方法
