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1、一种氮化铝压电薄膜及其制备方法2、一种用于声表面波器件的氮化铝压电薄膜及其制备方法
3、一种氮化铝压电薄膜及其制备方法
4、氮化铝压电薄膜及其制造方法、压电材、压电部件
5、一种Er掺杂的氮化铝压电薄膜材料
6、一种高质量氮化铝压电薄膜及其制备方法
7、氮化铝压电薄膜、制备方法及应用
8、含碳双掺杂氮化铝压电薄膜、制备方法及应用
9、一种低应力氮化铝压电薄膜的生长方法
10、一种在高声速材料衬底上生长氮化铝压电薄膜的方法
11、柔性衬底上室温反应溅射沉积氮化铝压电薄膜的方法
12、一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件及其制备方法
