核心提示：1、通过溅射舱内轴瓦溅前负偏压清洗的PVD轴瓦磁控溅射工艺2、一种用于磁控溅射工艺的电弧熄灭方法3、一种用于磁控溅射工艺的电弧检测及抑制方法4、一种提高ITO薄膜性能的磁控溅射工艺5、一种基于磁控溅射...
1、通过溅射舱内轴瓦溅前负偏压清洗的PVD轴瓦磁控溅射工艺2、一种用于磁控溅射工艺的电弧熄灭方法
3、一种用于磁控溅射工艺的电弧检测及抑制方法
4、一种提高ITO薄膜性能的磁控溅射工艺
5、一种基于磁控溅射工艺的纳米介质层制备方法
6、一种磁控溅射工艺中使用的旋转镍铬靶
7、一种磁控溅射工艺中使用的旋转银靶
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21、用于磁控溅射工艺腔室的磁场分布均匀化装置
