核心提示：1、复合蓝宝石衬底基片及其制备方法2、ZnO蓝宝石基片及其制造方法3、基于Ⅲ族氮化物的半导体基片及其制造方法4、生长GaN晶体基片的方法和GaN晶体基片5、用于检测蓝宝石基片表面层损伤的腐蚀剂6、大功...
1、复合蓝宝石衬底基片及其制备方法2、ZnO蓝宝石基片及其制造方法
3、基于Ⅲ族氮化物的半导体基片及其制造方法
4、生长GaN晶体基片的方法和GaN晶体基片
5、用于检测蓝宝石基片表面层损伤的腐蚀剂
6、大功率LED用蓝宝石基片超精密加工技术
7、用于生长氮化镓的基片、其制法和制备氮化镓基片的方法
8、供高温力学量传感器用的纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片
9、光学蓝宝石晶体基片的研磨工艺
10、复合蓝色水晶衬底基片及其制备方法
11、用于生长氮化镓的基片、其制法和制备氮化镓基片的方法
12、复合蓝色水晶衬底基片
13、一种去除蓝宝石基片表面粗糙以及伤痕的加工方法
