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1、双极型静电卡盘2、一种静电卡盘
3、双电极静电卡盘
4、双极型静电卡盘
5、静电卡盘加热器
6、静电卡盘装置
7、高温静电卡盘
8、静电卡盘单元
9、静电卡盘用电极片以及静电卡盘
10、静电卡盘的制法和静电卡盘
11、静电卡盘的制法及静电卡盘
12、瓦片式静电卡盘
13、静电卡盘及其制造方法
14、带加热器静电卡盘
15、静电卡盘板和静电卡盘板的制造方法
16、静电卡盘的制造方法和静电卡盘
17、静电卡盘及静电卡盘的制造方法
18、静电卡盘用部件以及静电卡盘
19、静电卡盘以及形成方法
20、静电卡盘及其制造方法
21、太阳能晶片静电卡盘
22、静电卡盘及其制造方法
23、静电卡盘及其制造方法
24、静电卡盘及其制造方法
25、静电卡盘和工艺腔室
26、静电卡盘板的制造方法
27、静电卡盘及其制法
28、带密封表面的静电卡盘
29、静电卡盘及其控制方法
30、静电卡盘表面处理方法
31、静电卡盘及其制造方法
32、静电卡盘及其制备方法
33、静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法
34、提高静电卡盘的电介质层的致密性的工艺、静电卡盘的制备工艺、静电卡盘
35、等离子体处理装置及静电卡盘与静电卡盘的制作方法
36、一种等离子体处理装置及静电卡盘与静电卡盘的制作方法
37、一种等离子体处理装置及静电卡盘与静电卡盘的制造方法
38、防止电弧产生的静电卡盘
39、陶瓷静电卡盘组件及其制备方法
40、包括加热器装置的静电卡盘
41、促进晶片刻蚀均匀的静电卡盘
42、具有静电卡盘的基板处理系统和静电卡盘的制造方法
43、用于半导体工件的静电卡盘
44、具有径向温度控制能力的静电卡盘
45、静电卡盘装置的制造方法
46、静电卡盘用卡板的制造方法
47、翻新双极静电卡盘的方法
48、具有多区域控制的静电卡盘
49、等离子体处理设备及其静电卡盘
50、等离子体处理设备及其静电卡盘
51、静电卡盘加热方法及系统
52、等离子体处理装置及其静电卡盘
53、一种等离子体处理装置及其静电卡盘
54、静电卡盘装置及其集成工艺
55、陶瓷静电卡盘装置及其制备工艺
56、陶瓷静电卡盘装置及其制造工艺
57、一种解决静电卡盘粘片的工艺方法
58、一种静电卡盘上深窄槽的加工工艺
59、具有多区域控制的静电卡盘
60、一种高温静电卡盘及其制作方法
61、具有缓冲能力的静电卡盘
62、平衡静电力的方法和静电卡盘
