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1、一种薄膜体声波谐振器2、MEMS薄膜体声波谐振器
3、薄膜体声波谐振器及其制造方法
4、薄膜体声波谐振器结构及其制造方法
5、带有运动板的薄膜体声波谐振器
6、薄膜体声波谐振器以及制造薄膜体声波谐振器的方法
7、薄膜体声波谐振器、滤波器及薄膜体声波谐振器制备方法
8、薄膜体声波谐振器制作方法、薄膜体声波谐振器及滤波器
9、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
10、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
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12、一种薄膜体声波谐振器的制备方法
13、包括桥部的薄膜体声波谐振器
14、薄膜体声波谐振器结构及其制造方法
15、薄膜体声波谐振器及其制备方法
16、薄膜体声波谐振器结构及其制备方法
17、信号增强的薄膜体声波谐振器
18、薄膜体声波谐振器及其制造方法
19、一种薄膜体声波谐振器及其制造方法
20、薄膜体声波谐振器及其制备方法
21、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
22、薄膜体声波谐振器及其加工方法
23、一种薄膜体声波谐振器的制备方法
24、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
25、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
26、一种薄膜体声波谐振器及制备方法
27、一种薄膜体声波谐振器及其制作方法
28、薄膜体声波谐振器及其制备方法
29、一种温度调节型薄膜体声波谐振器
30、薄膜体声波谐振器及其制造方法
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57、一种薄膜体声波谐振器及制备方法
58、一种薄膜体声波谐振器的封装方法
59、压电薄膜体声波谐振器及其制备方法
60、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
61、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
62、薄膜体声波谐振器及其制备方法
