核心提示：1、一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法2、一种由苦参碱合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法3、一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法4、由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合...
1、一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法2、一种由苦参碱合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
3、一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
4、由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
5、一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂
6、一种非离子型肟酯类光产酸剂
7、能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂
8、锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物
9、一种磺酸酯基硫杂蒽酮类光产酸剂及其制备方法
10、一种光产酸剂及其制备方法和应用
11、一种浸没式ArF光刻用光产酸剂及光刻胶组合物
12、一种193nm浸没式光刻用光产酸剂及光刻胶组合物
13、一种浸没式ArF光刻用的光产酸剂及其中间体
14、一种193nm浸没式光刻用光产酸剂的制备方法
15、一种ArF光源干法光刻用多鎓盐型光产酸剂的制备方法
16、一种浸没式ArF光刻用光产酸剂的制备方法
17、锍盐、光产酸剂及感光性组合物
18、一种ArF光源干法光刻用多鎓盐型光产酸剂的应用
19、一种ArF光源干法光刻用多鎓盐型光产酸剂
20、一种193nm浸没式光刻用光产酸剂及其中间体
21、锍盐、光产酸剂及感光性组合物
22、芳香族锍盐化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物
23、磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物
24、新型磺酰亚胺盐化合物、其制造方法和包含其的光产酸剂以及感光性树脂组合物
25、一种磺酸肟酯类光产酸剂
26、新型磺酸衍生物化合物、光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物以及阳离子聚合性组合物
27、锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物
28、可聚合光产酸剂
29、具有含氟碳负离子结构的盐及其衍生物、光产酸剂以及使用其的抗蚀材料和图案形成方法
30、光产酸剂用化合物以及使用它的抗蚀剂组合物、图案形成方法
31、N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯类光产酸剂及其合成方法
32、带有光产酸剂的含光自由基产生剂的光致抗蚀剂组合物
