核心提示:1、一种磷化铟晶片加工方法2、一种提高半绝缘磷化铟单晶片电阻率均匀性的方法3、一种磷化铟和硅晶片键合方法4、一种大尺寸薄片磷化铟晶片的线切割加工方法5、磷化铟晶锭切割(100)晶片的方法6、一种磷化铟...
1、一种磷化铟晶片加工方法2、一种提高半绝缘磷化铟单晶片电阻率均匀性的方法
3、一种磷化铟和硅晶片键合方法
4、一种大尺寸薄片磷化铟晶片的线切割加工方法
5、磷化铟晶锭切割(100)晶片的方法
6、一种磷化铟单晶片的腐蚀方法
7、用于磷化铟晶片的下盘方法
8、背面有橄榄形凹坑的磷化铟晶片、制法及所用腐蚀液
9、一种掺铁磷化铟单晶片的退火方法
10、一种磷化铟晶片抛光液
11、一种磷化铟晶片的化蜡方法
12、一种用于InP磷化铟单晶片电性能测试的高斯计探头、测试装置及测试方法
13、一种磷化铟晶片的清洗方法
14、一种磷化铟晶片的清洗方法
15、一种磷化铟晶片的研磨方法
16、一种磷化铟晶片的腐蚀方法
17、磷化铟基板、半导体外延晶片以及磷化铟基板的制造方法
18、磷化铟基板、半导体外延晶片以及磷化铟基板的制造方法
19、磷化铟基板、半导体外延晶片以及磷化铟基板的制造方法
20、一种磷化铟晶片的位错测定方法
21、背面有凹坑的磷化铟晶片、制法和制备其的腐蚀液
22、磷化铟晶片退火盒
23、一种腐蚀磷化铟单晶片的腐蚀液及腐蚀方法
24、磷化铟晶片及其表面清洗方法
25、磷化铟基板的制造方法、外延晶片的制造方法、磷化铟基板及外延晶片
26、磷化铟单晶片的抛光工艺