核心提示：1、一种加工蓝宝石衬底LED芯片的方法及装置2、一种图形化蓝宝石复合衬底的制作方法3、一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法4、一种蓝宝石复合衬底及其制备方法5、废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底6...
1、一种加工蓝宝石衬底LED芯片的方法及装置2、一种图形化蓝宝石复合衬底的制作方法
3、一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法
4、一种蓝宝石复合衬底及其制备方法
5、废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底
6、一种用于蓝宝石衬底倒角的砂轮及其制备方法
7、一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
8、一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法
9、一种基于蓝宝石衬底的AlON矩形纳米阵列及其制备方法
10、一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其制备方法
11、去除蓝宝石单抛衬底背面色差的清洗方法
12、大角度斜切蓝宝石衬底AlN制备、发光二极管及其制备方法
13、高波长一致性的LED芯片用图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法
14、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
15、一种高亮度深紫外LED用图形化蓝宝石衬底及其制备方法
16、一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置
17、基于蓝宝石衬底的HEMT的制备方法
18、代替蓝宝石衬底晶片酸洗的清洗工艺
19、一种蓝宝石衬底、加工方法及发光二极管的制备方法
20、在蓝宝石衬底上沉积金属铂薄膜图形的方法及产品和用途
21、一种蓝宝石衬底减薄砂轮及其制备方法
22、一种LED蓝宝石衬底的自动装片装置
23、一种图形化蓝宝石复合衬底及其制备方法
24、一种蓝宝石衬底的稳固装置
25、桥链型图形化蓝宝石衬底、制备方法及LED外延片
26、一种多复合层图形化蓝宝石衬底的制备方法
27、一种蓝宝石复合衬底及其制作方法
28、一种回收图形化蓝宝石衬底的方法
29、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
30、一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的方法
31、一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液
32、具有非极性、半极性面的图形蓝宝石衬底、可见光通信光源及其制备方法
33、蓝宝石衬底减薄用砂轮齿
34、一种可剥离蓝宝石衬底的氮化镓基垂直器件制备方法
35、蓝宝石衬底切割片再生加工方法
36、一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法
37、一种大尺寸蓝宝石衬底晶圆片的面型修复方法
38、一种使用感光性聚硅氧烷制作图形化蓝宝石衬底的方法
39、一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法
40、一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备
41、蓝宝石衬底用减薄砂轮
42、一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置
43、一种蓝宝石衬底粗糙表面碳化硼的去除方法
44、用于蓝宝石衬底晶片磨削的固着磨具及其制备方法
45、一种提升蓝宝石衬底平坦度的工艺
46、一种用于蓝宝石衬底片碳化硼研磨后的清洗方法
47、一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置
48、一种蓝宝石衬底使用液体蜡的回收方法
49、一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法
50、一种蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理方法和喷砂装置
51、一种回收图形化蓝宝石衬底的方法
52、图形化蓝宝石衬底报废品的重制方法
53、一种生长在蓝宝石衬底上的硫化钼二维材料的制备方法
54、一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法
55、蓝宝石衬底抛光液
56、在基于图形化蓝宝石衬底的石墨烯上生长氮化镓的方法
57、一种加工蓝宝石衬底LED晶圆的方法及激光装置
58、一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法
59、一种GaN外延膜和蓝宝石衬底自剥离方法
60、蓝宝石斜切衬底优化氧化镓薄膜生长及日盲紫外探测器性能的方法
61、一种蓝宝石衬底片切片后的崩边快速检验方法
62、一种SiO2蓝宝石复合衬底
63、一种蓝宝石衬底片抛光方法
64、一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚
65、在基于图形化蓝宝石衬底的石墨烯上生长氮化镓的方法
66、一种用于LED蓝宝石衬底的固定装置
67、生长在r面蓝宝石衬底上的非极性AlGaN基MSM型紫外探测器及其制备方法
68、一种提高GaN基LED发光效率的蓝宝石图形衬底结构
69、石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法
70、一种图形化蓝宝石衬底及其制备方法
71、基于蓝宝石衬底的氧化镓薄膜及其生长方法和应用
72、6英寸图形化蓝宝石衬底及制备方法和LED外延片
73、一种用于蓝宝石衬底的碳化硅涂层及其制备方法
74、图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法
75、一种蓝宝石衬底片成品清洗工艺
76、一种蓝宝石衬底贴片方法
77、一种图形化蓝宝石衬底结构及其制作工艺
78、一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置
79、一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法
80、一种干法刻蚀中图形化蓝宝石衬底用托盘
81、激光剥离方法和蓝宝石衬底上发光二极管器件外延结构
82、一种含有AlN复合结构的蓝宝石复合衬底
83、一种石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底在紫外LED技术中的应用
84、TEM蓝宝石衬底LED试样晶格方向的确认方法
85、具有减反射碳化硅或蓝宝石衬底的发光器件及其形成方法
86、一种含有AlN三明治结构的蓝宝石复合衬底
87、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
88、在纳米图形化蓝宝石衬底上外延生长氮化铝的方法
89、基于蓝宝石衬底的AlN薄膜及制备方法
90、一种新型多层复合图形化蓝宝石衬底的制备方法
91、一种物理与化学相结合恢复GaN-LED用蓝宝石图形衬底的方法
92、一种UV胶及其在半导体蓝宝石衬底上的应用
93、蓝宝石衬底摆放架
94、TEM蓝宝石衬底LED试样晶格方向的确认方法
95、一种蓝宝石衬底工厂智能化污水处理方法
96、一种LED蓝宝石衬底除蜡除颗粒清洗剂、制备方法、用途及清洗方法
97、一种图形化蓝宝石衬底结构及其制作工艺
98、图案化蓝宝石衬底的制备方法
99、一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法
100、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
101、一种氮化镓与蓝宝石衬底剥离装置及方法
102、一种蓝宝石衬底切割片再生加工方法
103、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
104、图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法
105、一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置
106、基于大斜切角蓝宝石衬底外延生长氮化镓的方法及其应用
107、一种非极性图形化AlN/蓝宝石复合衬底及其制备方法
108、一种蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理方法
109、一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法
110、一种蓝宝石衬底制备工艺
111、一种用于蓝宝石衬底片盒放置的通用装置
112、一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置及装载方法
113、一种利用激光切割蓝宝石衬底LED芯片的方法
114、一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法
115、蓝宝石衬底用减薄砂轮
116、一种适用于Ⅲ族氮化物外延生长的石墨烯蓝宝石衬底
117、一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺
118、一种蓝宝石衬底片的单面抛光方法
119、一种图形化蓝宝石衬底的光刻方法
120、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
121、一种延长C向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法
122、一种蓝宝石衬底制作工艺
123、蓝宝石衬底的Fe掺杂自旋场效应晶体管及其制造方法
124、一种基于石墨烯蓝宝石衬底的高光效LED芯片
125、一种用于蓝宝石衬底抛光的硅铝复合磨料的制备方法
126、一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法
127、一种蓝宝石衬底清洗篮装置
128、一种在蓝宝石衬底上生长石墨烯的方法
129、一种高效自动化蓝宝石衬底片碱酸清洗一体机
130、一种通过蓝宝石衬底制备多晶SiC薄膜的方法
131、一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用新方法
132、一种蓝宝石衬底抛光的划痕控制系统及控制方法
133、一种用于LED蓝宝石衬底的抛光硅溶胶及其制备方法
134、在蓝宝石衬底上制备纳米晶石墨烯的方法
135、一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置
136、一种基于聚合物微球制备纳米级图形化蓝宝石衬底的方法
137、一种基于图形化蓝宝石衬底和预溅射技术的AlN薄膜的制备方法
138、一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构及其制备方法
139、基于蓝宝石图形化衬底的LED外延生长方法
140、蓝宝石图形衬底以及制作蓝宝石图形衬底的掩膜版和方法
141、一种蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构和曝光方法
142、一种实现蓝宝石衬底重复利用的垂直LED芯片制备方法
143、蓝宝石衬底抛光贴蜡机
144、一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用
145、图形化蓝宝石衬底的回收方法
146、一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法
147、一种蓝宝石衬底的刻蚀方法
148、一种激光刻蚀错位半球与ODR结合的蓝宝石图形衬底及制备方法
149、一种纳米级图形化蓝宝石衬底及其制备方法和应用
150、一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺
151、一种在蓝宝石衬底上生长氮化镓材料的方法、氮化镓材料及其用途
152、一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法
153、一种利用紫外光致亲水性判断HVPE外延生长蓝宝石衬底GaN掺杂类型的方法
154、蓝宝石衬底纳米孔制备方法
155、一种蓝宝石衬底刻蚀用托盘凸台及控制方法
156、一种图形化蓝宝石衬底返工晶片的单片式清洗方法
157、一种蓝宝石衬底图形化制作的方法
158、一种在蓝宝石衬底上生长石墨烯的方法
159、一种蓝宝石衬底图形化制作的方法
160、一种蓝宝石衬底的刻蚀方法
161、一种蓝宝石衬底回收再利用方法
162、LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤方法及装置
163、一种基于纳米压印技术制备图形化蓝宝石衬底的方法
164、复合图形化蓝宝石衬底及其外延片的制作方法
165、一种在蓝宝石衬底上生长具有不同极性GaN结构的方法
166、纳米/微米复合图形化蓝宝石衬底及其制备方法
167、大尺寸蓝宝石衬底退火前的清洗及背面不良返工方法
168、一种利用激光切割制备蓝宝石衬底LED芯片的方法
169、一种改善LED用蓝宝石衬底研磨掉边的方法
170、蓝宝石衬底上的氮?极性的半极性GaN层和器件
171、基于m面蓝宝石衬底上半极性(11-22)黄光LED材料及其制作方法
172、一种导电蓝宝石衬底窗口加工方法
173、图形化蓝宝石衬底及发光二极管的制作方法
174、一种图形化蓝宝石衬底的制作方法
175、图形化蓝宝石衬底及发光二极管
176、蓝宝石衬底单电极LED芯片结构及其制备方法
177、基于飞秒激光技术的GaN薄膜与蓝宝石衬底的剥离方法
178、一种蓝宝石衬底回收方法
179、蓝宝石衬底晶片清洗液
180、基于c面蓝宝石衬底上N面黄光LED结构及其制作方法
181、一种蓝宝石衬底LED芯片激光切割方法
182、基于c面蓝宝石衬底上Ga极性黄光LED结构及其制作方法
183、一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法
184、基于蓝宝石衬底的氧化镓薄膜及其生长方法
185、一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法
186、LED蓝宝石衬底加工用新型金刚石磨料及其制备方法
187、LED用蓝宝石衬底研磨液
188、基于蓝宝石衬底的多层氧化镓薄膜及其生长方法
189、LED蓝宝石衬底加工用新型金刚石磨料及其制备方法
190、一种图形化蓝宝石衬底的回收方法
191、制造图形化蓝宝石衬底的方法
192、一种用于蓝宝石衬底光盘数据读取系统的像差补偿方法
193、一种透镜形状图形化蓝宝石衬底及其制备方法
194、一种基于图形化蓝宝石衬底的LED芯片去腊工艺
195、蓝宝石衬底回收再使用的方法
196、一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘
197、一种蓝宝石衬底制作工艺
198、一种蓝宝石复合衬底及其制备方法
199、一种高光效可匀斑蓝宝石衬底LED芯片及其制备方法
200、一种大尺寸蓝宝石衬底片的加工方法
201、一种用于蓝宝石衬底的研磨液组合物及其制备方法
202、一种用于蓝宝石衬底的抛光液及其制备方法
203、一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法
204、用于改善图形化蓝宝石衬底的底部刻蚀异常的方法
205、一种火山口型图形化蓝宝石衬底的制备方法
206、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
207、蓝宝石衬底及制备方法、制造发光二极管的方法
208、图形化蓝宝石衬底报废外延片的蓝宝石衬底再利用方法
209、一种规整排列纳米粗化蓝宝石衬底及制备方法
210、一种加速蓝宝石衬底隐形切割自裂的方法
211、一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法
212、生长在蓝宝石衬底上的金属Al单晶薄膜及其制备方法和应用
213、一种氮化镓LED蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法
214、图形化蓝宝石衬底及其制作方法、外延片的制作方法
215、蓝宝石衬底材料的复合磨料抛光液及其循环使用方法
216、蓝宝石衬底研磨装置
217、一种带蓝宝石衬底的垂直LED芯片结构及其制造方法
218、一种纳米粗化复合图形化的蓝宝石衬底及制备方法
219、一种大尺寸蓝宝石衬底片研磨抛光的方法
220、波浪纹型蓝宝石衬底及其制备方法
221、一种蓝宝石图形衬底的制备方法
222、一种蓝宝石绝缘层上覆硅衬底及其制备方法
223、将图案化蓝宝石衬底不良品重制的方法
224、一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法
225、纳米图案化蓝宝石衬底及其制备方法
226、蓝宝石图形衬底晶片及制备方法
227、用于生产蓝宝石图形衬底的分选方法
228、蓝宝石图形化衬底的制备方法
229、一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法
230、一种基于蓝宝石衬底生长石墨烯的方法
231、蓝宝石衬底的层状涂层
232、图形化蓝宝石衬底及发光二极管
233、一种以蓝宝石衬底为基板的GaN基LED多阶缓冲层生长方法
234、一种蓝宝石衬底发光二级管太阳灯及其制作工艺
235、一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法
236、蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液及其循环使用方法
237、一种蓝宝石衬底LED芯片隐形切割方法
238、生长在蓝宝石衬底上的高均匀性AlN薄膜及其制备方法和应用
239、一种回收蓝宝石衬底的方法
240、一种用于蓝宝石衬底的抛光液
241、一种蓝宝石衬底晶片清洗液、制备方法、用途和清洗方法
242、基于复合软模板纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法
243、利用蓝宝石衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管的方法
244、高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法
245、蓝宝石衬底用去蜡清洗剂
246、一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法
247、一种蓝宝石衬底晶片切削装置
248、一种避免图形失真的图形化蓝宝石衬底的制备方法
249、一种制备低反射率蓝宝石图形衬底的方法
250、一种以抛代洗的蓝宝石衬底材料表面洁净方法
251、蓝宝石衬底的拼接曝光方法
252、蓝宝石图形衬底的制备方法
253、一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料CMP抛光液及其制备方法
254、无残余层纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法
255、双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液
256、在蓝宝石衬底上生长外延用AlN模板的方法
257、一种蓝宝石图形化衬底自动检测设备
258、一种提高蓝宝石衬底片表面质量和产品良率的加工方法
259、蓝宝石衬底可自剥离的氮化镓薄膜制备用外延结构及方法
260、在蓝宝石衬底上制备微纳米图形的方法
261、基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
262、一种在r面蓝宝石衬底上制备非极性GaN薄膜方法
263、一种用于制备蓝宝石衬底的GaN基半导体激光器腔面的方法
264、一种蓝宝石图形化衬底制备方法
265、利用蓝宝石衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管的方法
266、一种用于AlGaInN材料体系薄膜生长的分割图形蓝宝石衬底
267、一种蓝宝石衬底晶片抛光后的超声清洗方法
268、蓝宝石衬底的制造方法
269、一种用于蓝宝石衬底的接触式厚度测量装置及方法
270、基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
271、蓝宝石衬底晶片抛光后的清洗方法
272、一种制备GaN生长用图形化蓝宝石衬底的方法
273、一种回收图形化蓝宝石衬底的方法
274、用于蓝宝石衬底图形化的纳米压印装置及方法
275、基于图形化蓝宝石衬底的GaN基PIN探测器及制备方法
276、一种蓝宝石纳米孔状图形衬底的制备方法
277、一种采用蓝宝石衬底的发光二极管
278、一种包括蓝宝石组合衬底的发光器件
279、蓝宝石图形衬底及其制备方法和发光二极管的制造方法
280、一种在蓝宝石衬底上制备纳米图案的方法
281、用于图形化衬底的蓝宝石基片的加工方法
282、图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺
283、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
284、一种蓝宝石衬底的清洗方法
285、一种蓝宝石衬底倒装结构LED
286、一种蓝宝石复合衬底和其制备方法及其应用
287、蓝宝石纳米碗阵列图形衬底的制作方法
288、纳米级图案化蓝宝石衬底的全湿化学制备方法
289、一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法
290、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
291、一种蓝宝石衬底上发光二极管芯片的制作方法
292、一种蓝宝石衬底上亚微米级的图形的制备方法
293、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
294、一种纳米碗状蓝宝石图形衬底的制作方法
295、一种蓝宝石LED图形衬底及其制备方法
296、一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法
297、蓝宝石衬底转移石墨烯的退火方法
298、单面抛光机用蓝宝石衬底抛光液
299、一种用于LED用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液
300、一种用于制造发光器件的蓝宝石组合衬底
301、基于蓝宝石衬底的石墨烯CVD直接外延生长方法及制造的器件
302、一种LED衬底片用的蓝宝石或碳化硅晶片的表面处理用的化学机械抛光液及其制备方法
303、图案化蓝宝石衬底的制作工艺
304、一种矩阵式蓝宝石衬底及其制备方法
305、一种用于提高GaN膜质量的蓝宝石图形衬底及制备方法
306、一种蓝宝石衬底上发光二极管芯片的制作方法
307、一种用于蓝宝石衬底的研磨液及其制备方法
308、在蓝宝石图形衬底上外延生长氮化物外延膜的方法
309、大尺寸晶圆级纳米图形化蓝宝石衬底压印装置及方法
310、于蓝宝石衬底表面制作纳米球的方法
311、蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法
312、一种图形化蓝宝石衬底的方法及装置
313、一种蓝宝石图形衬底的制备方法
314、一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用
315、便于去除蓝宝石衬底的外延结构
316、一种蓝宝石衬底减薄的方法
317、蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
318、在非极性蓝宝石衬底上生长水平排列氧化锌纳米线的方法
319、一种提升ICP刻蚀蓝宝石图形衬底产能的工艺方法
320、蓝宝石衬底材料的退火工艺
321、一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液
322、一种蓝宝石衬底抛光工艺
323、一种在蓝宝石图形化衬底上生长高质量GaN晶体材料的生长技术
324、预处理蓝宝石衬底提高LED出光效率的方法
325、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
326、一种蓝宝石图形衬底激光剥离的方法
327、便于去除蓝宝石衬底的外延结构
328、一种图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀方法
329、蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
330、一种通过湿法剥离GaN基外延层和蓝宝石衬底来制备垂直结构发光二极管的方法
331、反压式双面研磨抛光机
332、准光子晶体图形蓝宝石衬底及其制造方法、发光二极管及其制备方法
333、一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法
334、一种图形化蓝宝石衬底的制备方法
335、一种提高蓝宝石衬底氮化镓外延层均匀性的方法
336、一种氮化镓基LED外延用蓝宝石图形化衬底制备方法
337、图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法和系统
338、一种干法刻蚀与湿法腐蚀混合制备蓝宝石图形衬底的方法
339、图形化蓝宝石衬底的光刻方法
340、一种氮化镓基LED外延用蓝宝石图形化衬底制备方法
341、用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法
342、蓝宝石衬底LED芯片的切割方法
343、蓝宝石基复合衬底及其制造方法
344、基于应力作用的逐单元分离蓝宝石衬底的方法
345、蓝宝石衬底LED芯片的切割方法
346、蓝宝石图形衬底的制作方法
347、蓝宝石衬底材料CMP抛光液的制备方法
348、一种蓝宝石图形衬底及其制备方法
349、蓝宝石衬底材料抛光后表面洁净方法
350、一种基于蓝宝石衬底的单芯片白光发光二极管
351、蓝宝石衬底的制造方法及半导体装置
352、AlGaN基蓝宝石衬底的紫外LED器件的制作方法
353、制备用于制造异质结构体的蓝宝石衬底的表面
354、在蓝宝石图形衬底上制备无应力GaN厚膜的方法
355、去除GaN基LED芯片蓝宝石衬底的方法
356、一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法
357、蓝宝石衬底的AlGaInP发光二极管外延片及其制备方法
358、一种厚膜氮化镓与衬底蓝宝石自剥离的实现方法
359、基于蓝宝石衬底的AlGaN基多量子阱uv-LED器件的制作方法
360、蓝宝石衬底上的多量子阱紫外LED器件的制作方法
361、在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓薄膜的方法
362、一种改善蓝宝石衬底上GaN厚膜完整性的方法
363、在蓝宝石衬底上二次生长高质量ZnO单晶厚膜的方法
364、利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法
365、蓝宝石图形衬底的制备方法
366、蓝宝石衬底、使用该蓝宝石衬底的氮化物半导体发光元件及氮化物半导体发光元件的制造方法
367、用于氮化物外延生长的图形蓝宝石衬底的制作方法
368、蓝宝石衬底发光二极管芯片的外延生长方法
369、蓝宝石衬底抛光液及其制作方法
370、一种去除蓝光发光芯片蓝宝石衬底的方法
371、蓝宝石衬底清洗方法
372、蓝宝石衬底同温双缓冲层制备方法
373、一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
374、蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法
375、一种蓝宝石衬底上的发光二极管芯片的制作方法
376、一种在蓝宝石衬底材料上外延生长AlxGa1-xN单晶薄膜的方法
377、蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法
378、一种生长在蓝宝石衬底上的复合缓冲层及制备方法
379、利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线的系统及方法
380、蓝宝石衬底材料高去除速率的控制方法
381、基于镓氮/蓝宝石透明衬底发光二极管结构及制备方法
382、蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法
383、蓝宝石衬底粗糙化的发光二极管及其制造方法
384、用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法
385、一种湿法腐蚀蓝宝石图形衬底的方法
386、复合蓝宝石衬底基片及其制备方法
387、蓝宝石衬底磨削方法
388、在蓝宝石图形衬底上制备高质量GaN基材料的方法
389、蓝宝石衬底发光二极管芯片电极制作方法
390、利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线
391、色心蓝宝石衬底的制备方法
392、一种纳米级蓝宝石衬底的加工方法
393、蓝宝石衬底减薄方法
394、一种外延生长用蓝宝石衬底的镓原子清洗的方法
395、在蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的方法
396、在蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的方法
