靶磁控溅射技术,磁控溅射靶镀膜方法,磁控溅射靶制造方法,磁控溅射靶制备工艺

靶磁控溅射技术,磁控溅射靶镀膜方法,磁控溅射靶制造方法,磁控溅射靶制备工艺
1、一种磁控溅射Fe-Co合金靶的制造方法
2、平面磁控溅射靶及其镀膜方法
3、一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
4、高真空多靶磁控溅射方法和装置
5、一种磁镜场约束双靶非平衡磁控溅射方法
6、对向靶磁控溅射制备三氧化钨薄膜气敏传感器的方法
7、一种用于磁控溅射的高纯镍靶材
8、真空镀膜磁控溅射磁流体密封旋转靶
9、包层的中空阴极磁控管溅射靶的制造方法
10、单靶磁控溅射Cu1-xCrx合金薄膜的方法
11、一种双靶射频磁控共溅射超硬、高效导热、低吸收AlxSiyN膜的方法
12、一种用于制作磁性直流磁控溅射钴靶材的方法
13、一种对靶磁控溅射装置
14、对向靶反应磁控溅射制备氧化钒薄膜的方法
15、采用中频反应磁控溅射铟锡合金靶制备ITO膜的方法及系统
16、MgxZn1-xO薄膜的双靶射频磁控共溅射制备方法
17、采用TiO2陶瓷靶磁控溅射的膜系玻璃结构及方法
18、一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法
19、对向异材磁控溅射靶制备合金薄膜工艺方法
20、磁控溅射铬靶的制造方法
21、合金靶材磁控溅射法制备CoSi2薄膜的方法
22、复合磁控溅射靶及其镀膜方法
23、双靶磁控溅射法制备钛酸钴薄膜的方法
24、一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶及其应用方法
25、混合靶磁控溅射法制备钛酸钴薄膜的方法
26、一种提高利用率的平面磁控溅射靶
27、磁控溅射镀膜系统中提高平面靶材利用率的方法
28、一种磁控溅射Co-Cr-Ta合金靶的制造方法