外延生长铝制备工艺,外延铝生长方法
1、氮化铝外延生长法及所用生长室
2、准氮化铝和准氮化镓基生长衬底及在氮化铝陶瓷片上生长的方法
3、在硅衬底上外延生长铝酸镧薄膜材料及制备方法
4、氢化物气相外延生长氮化镓膜中的氧化铝掩膜及制备方法
5、利用砷化铟-铟铝砷叠层点制备砷化铟纳米环的生长方法
6、铝酸锂晶片上生长非极性GaN厚膜的方法
7、宽光谱砷化铟/砷化铝镓量子点材料生长方法
8、基于氮化铝缓冲层的硅基3C-碳化硅异质外延生长方法
9、780nm～850nm无铝激光器外延片的生长方法
10、一种在铝酸锂衬底上生长非极性a面GaN薄膜的方法
11、硅衬底上生长的铝镓铟磷LED外延片及其制备方法
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