硅微粉生产工艺配方、微硅粉制备技术及硅微粉用途
1、低电压硅微电泳分析仪
2、硅微粉和锆复合硅微粉的电熔生产方法
3、全光型硅微谐振式二维加速度传感器
4、基于硅微机械技术的N×N光开关
5、双柱法制备均一的二氧化硅微球
6、低碳高锰、硅微钛、铝高韧性埋弧焊丝
7、高孔隙度二氧化硅微粒子的制备方法
8、交联树脂包覆二氧化硅微粒及其制造方法
9、一种多孔性二氧化硅微球的制备方法
10、硅微热致动泵及其制造工艺
11、多层硅微机械结构的掩模－无掩模腐蚀技术
12、高纯球形无定型硅微粉的制备
13、玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法
14、集成硅微电阻式加速度传感器及其制造加工方法
15、超细氮化硅微粉气相合成新工艺
16、“X” 型硅微应变固态压阻传感器及其制作工艺
17、曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法
18、硅微加速度传感器
19、硅微机械短接式微带天线
20、硅微机械泵
21、硅微粉理疗保健垫
22、碳化硅微粉精密分级装置
23、集成硅微电阻式加速度传感器
24、棉条检测硅微传感器
25、双自由度硅微振动陀螺仪
26、超自对准亚微米结构的硅微波功率芯片
27、纳米硅微波开关二极管
28、硅微振动陀螺仪
29、一种硅微机械倾角传感器和制作方法
30、玻璃衬底上全干法深刻蚀硅微机械加工方法
31、硅微机械结构的制造
32、一种CMOS电路与体硅微机械系统集成的方法
33、一种超细硅微粉的生产方法
34、制造悬浮多孔硅微结构的方法及其在气体传感器中的应用
35、基于硅微加工技术的超声定位与测距微声学系统
36、一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法
37、用于体硅微机械加工的局部光刻方法
38、一种硅微型驻极体声传感器储电膜的化学表面修正工艺
39、利用有机胶粘剂连接两片式硅微型话筒的方法
40、制备单分散高比表面积二氧化硅微孔微球的方法
41、聚苯乙烯包覆纳米二氧化硅微球制备单分散性核/壳复合颗粒乳液的方法
42、一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置
43、可实现声源定向的硅微麦克风组合体
44、具有高灵敏度的用于硅微电容传声器的芯片及其制备方法
45、带电子电路的碳化硅微机电器件
46、聚合物包覆的纳米聚硅微粒及其制备方法
47、织物柔软剂用改性有机硅微乳液的制备方法
48、硅微通道阵列红细胞流变分析方法及装置
49、一种硅微电容传声器芯片及其制备方法
50、一种硅微电容传声器芯片及其制备方法
51、二氧化硅微粒为载体的淋巴染料及其制备方法
52、一种纳米二氧化硅微粒制备方法
53、单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法
54、一种碳化硅微粉的生产工艺
55、彩色多晶硅微粒及其制备方法
56、硅微型机电系统谐振器的温度补偿
57、一种硅微压电式传感器芯片及其制备方法
58、一种硅微电容传声器芯片及其制备方法
59、避免硅微细结构中的结构层被释放后发生粘着的方法与设备
60、一种用天然粉石英制备高纯球形纳米非晶态硅微粉的方法
61、一种高深宽比大孔硅微通道的制作方法
62、膨润土基纳米硅微孔膜及其制备方法、数码相纸
63、应用于硅微加速度传感器的键合技术
64、硅微机械自谐振传感装置
65、对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪
66、电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统
67、一种多晶硅振动膜硅微电容传声器芯片及其制备方法
68、电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
69、一种合成高度有序的介孔二氧化硅微球的方法
70、电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
71、电磁激励高阶模态硅微机械悬臂梁的驱动结构、制作方法及应用
72、多孔氧化硅微流体样品预处理芯片
73、喷雾造粒制备亚微米级碳化硅微粉的方法
74、单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
75、硅微麦克风的振膜晶片及其制造方法
76、一种用天然石英粉制备高纯超细硅微粉的方法
77、一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法
78、具有分割式串连电极的硅微压电传感器芯片及其制备方法
79、硅微机械两维倾角传感器芯片及制作方法
80、一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器
81、具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器
82、扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用
83、硅微通道内连续打拿极的制作方法
84、二氧化硅微球，其制备及聚集的方法以及二氧化硅微球的可能应用
85、一种封装用环氧模塑料超细硅微粉干法生产工艺
86、碳化硅微粉回收的方法
87、一种高纯超细球形硅微粉的制备方法
88、一种高纯球形硅微粉的生产方法
89、一种纳米硅微粉改性双组份、无溶剂聚氨酯胶粘剂及其制备方法
90、一种尺寸可控的中空氧化硅微球的制备方法
91、一种硅微通道结构的自分离制作方法
92、一种新型硅微机械陀螺
93、用以制备电容式硅微麦克风的晶片的无切割制造方法
94、一种适合单芯片集成的调频硅微电容传声器系统
95、一种电化学方法制作硅微通道过程中在微通道结构与衬底之间产生断层的方法
96、液晶硅微型显示器的基板结合方法
97、有机硅微孔沸石及其合成方法
98、有机硅微孔沸石、合成方法及其应用
99、一种防粘连的硅微电容传声器芯片及其制备方法
100、单自由度硅微陀螺仪
101、硅微机械倾角传感器
102、电容式硅微加速度计装置及电路
103、电容式硅微加速度计
104、一种用于硅微电容传声器中的芯片
105、具有高灵敏度的用于硅微电容传声器中的芯片
106、一种具有高灵敏度的用于硅微电容传声器的芯片
107、宽带硅微机械双频微带天线
108、一种硅微电容传声器芯片
109、一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置
110、一种采用成熟工艺制作的新型硅微电容传声器芯片
111、硅微机械自谐振传感装置
112、炼钢用的微硅低碳低磷低硫锰铝钛铁合金
113、生产白色微硅石的方法
114、微硅高效水泥砂浆和砼抗碱剂
115、微硅高效水泥砂浆防水剂
116、喷动－流化床微硅粉增密设备
117、喷动-流化床微硅粉增密设备
118、螺旋式微硅粉增密机
119、微硅粉加密系统
120、微硅麦克风及其制备方法
121、微硅粉捕集装置