深沟槽制作方法,深沟槽制备方法,深沟槽电容制造方法,深沟槽填充方法

深沟槽制作方法,深沟槽制备方法,深沟槽电容制造方法,深沟槽填充方法
1、深沟槽电容的制作方法
2、深沟槽的制备方法
3、去除深沟槽结构中半球形晶粒硅层的方法
4、贯穿SOI衬底的深沟槽电容器及其形成方法
5、形成受控深沟槽顶部隔离层的装置和方法
6、深沟槽电容器结构的制造方法
7、深沟槽衬里去除方法
8、深沟槽超级PN结结构及其形成方法
9、深沟槽超级PN结结构及其形成方法
10、一种改善深沟槽刻蚀的氧化物硬掩模轮廓的方法
11、选择性去除半球状硅晶粒层的方法及深沟槽电容器的制法
12、超深沟槽的多级刻蚀与填充方法
13、低成本的深沟槽去耦电容器器件及其制造方法
14、超结结构的深沟槽填充方法
15、深沟槽二次刻蚀接触孔及刻蚀方法
16、对深沟槽内的多晶硅进行干法刻蚀的方法
17、避免深沟槽工艺产生角凹槽的方法
18、一种测定深沟槽失效深度的方法
18、一种深沟槽大功率MOS器件及其制造方法
19、一种深沟槽功率MOS器件及其制造方法
20、深沟槽电隔离中压CMOS器件及其制造方法
21、一种低栅极电荷深沟槽功率MOS器件及其制造方法
22、深沟槽填充方法
23、深沟槽工艺中保护沟槽底部的方法
24、一种深沟槽大功率MOS器件及其制造方法
25、具有瓶状深沟槽电容的半导体元件及其制造方法
26、深沟槽的制备方法
27、一种改进深沟槽DRAM钨金属位线的CMP工艺窗的方法
28、宽深沟槽介质填充的制作工艺方法
29、具有深沟槽电容器的多栅极动态随机存取存储器及其制法
30、一种深沟槽大功率MOS器件及其制造方法
31、深沟槽型功率MOS管静电保护结构制造方法
32、高压半导体元件之间的深沟槽结构及其制造方法
33、用于精确化深沟槽电阻测量的结构和方法
34、超结结构的深沟槽填充方法
35、制造深沟槽绝缘栅极双极晶体管的方法
36、用高质量的氧化物填充半导体器件大型深沟槽的方法
37、具有深沟槽的半导体器件的制造方法
38、基于深沟槽的动态随机存取存储器和制作方法
39、一种具有场截止构造的非穿通型深沟槽IGBT及其制造方法
40、半导体深沟槽绝缘工艺