核心提示：1、超声波雾化型碱性抛光液2、一种碱性抛光液及抛光方法3、铝合金碱性抛光液及其制备方法4、碱性抛光液及其制备方法5、一种用于阻挡层钌的碱性抛光液及其制备方法6、一种硅通孔阻挡层碱性抛光液7、控制GLS...
1、超声波雾化型碱性抛光液2、一种碱性抛光液及抛光方法
3、铝合金碱性抛光液及其制备方法
4、碱性抛光液及其制备方法
5、一种用于阻挡层钌的碱性抛光液及其制备方法
6、一种硅通孔阻挡层碱性抛光液
7、控制GLSI多层铜布线精抛碟形坑延伸的碱性抛光液应用
8、一种用于铜布线阻挡层钴的碱性抛光液及其制备方法
9、用于抑制铜钌阻挡层电偶腐蚀的碱性抛光液及其制备方法
10、低技术节点铜布线用铜膜碱性抛光液
11、用于降低多层铜互连阻挡层CMP缺陷的碱性抛光液及其制备方法
12、一种用于钴互连结构钴膜CMP粗抛的碱性抛光液及其制备方法
13、一种用于钴互连集成电路钴CMP的碱性抛光液及其制备方法
14、一种抑制铜钴电偶腐蚀的碱性抛光液及其制备方法
