热电堆芯片工艺,热电堆芯片生产制造方法

时间：2022/3/3 11:04:14 点击：

　　核心提示：1、基于CMOS工艺的CMOS-MEMS全集成热电堆芯片及制造方法2、一种MEMS热电堆芯片器件结构及其制备方法3、黑硅等离激元辅助吸收的热电堆芯片及其制作方法4、热电堆芯片5、热电堆芯片...

1、基于CMOS工艺的CMOS-MEMS全集成热电堆芯片及制造方法
2、一种MEMS热电堆芯片器件结构及其制备方法
3、黑硅等离激元辅助吸收的热电堆芯片及其制作方法
4、热电堆芯片
5、热电堆芯片

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