核心提示:一种菲林玻璃模具的制作方法,属于半导体芯片生产技术领域。所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水,所述菲林模具的四角处各开设有缺口,菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤:使用光绘机进...
一种菲林玻璃模具的制作方法,属于半导体芯片生产技术领域。所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水,所述菲林模具的四角处各开设有缺口,菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤:使用光绘机进行菲林光绘;光绘底片效果评定;对准备好的空白玻璃进行清洁检查;用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上,检查菲林玻璃模具;对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上;粘贴好后进行尺寸测量,尺寸合理后,进行首件确认,首件确认时,经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序,待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后,进行生产。本发明制作周期短、成本低、精密度高、一致性好,便于推广使用。