金属-绝缘层-金属电容器及其制作方法

时间：2021/9/14 12:21:45 点击：

　　核心提示：一种金属绝缘层金属电容器及其制作方法，其中该金属绝缘层金属电容器包括：基材、第一金属层、沉积结构、介电层以及第二金属层。第一金属层具有一平坦化表面。沉积结构位于第一金属层之上，且至少一部分延伸进入平坦...

一种金属‑绝缘层‑金属电容器及其制作方法，其中该金属‑绝缘层‑金属电容器包括：基材、第一金属层、沉积结构、介电层以及第二金属层。第一金属层具有一平坦化表面。沉积结构位于第一金属层之上，且至少一部分延伸进入平坦化表面中，其中第一金属层与沉积结构具有相同材料。介电层位于沉积结构上方。第二金属层位于介电层之上。

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