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碳化硅粉末及其制造方法
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高纯度碳化硅粉末以及可以廉价、大量且安全地制造高纯度碳化硅粉末的方法。本发明涉及杂质含有率为500ppm以下的碳化硅粉末。该碳化硅粉末为硅酸质原料和碳质原料混合而成的碳化硅制造用原料,通过利用艾奇逊炉4的发热体2对碳质原料与硅酸质原料的混合摩尔比(C/SiO
2
)为2.5~4.0且杂质含有率为120ppm以下的碳化硅制造用原料1进行加热,可以得到该碳化硅粉末。