一种石墨烯透明导电薄膜的制作工艺,其方法步骤包括:(1)在真空室内,将铜箔卷开卷,使用电阻加热铜箔的化学沉积反应区,通入甲烷气体和氢气,铜箔表面化学沉积生成石墨烯层,然后将用等离子体对石墨烯层进行刻蚀处理(2)采用凹版印刷工艺得到氧化石墨烯层;(3)制得氧化石墨烯薄膜;(4)在氧化石墨烯薄膜的铜箔面涂覆浓度为200g/L氯化铜刻蚀溶液;(5)将氧化石墨烯薄膜进行热退火还原;(6)涂覆树脂粘合剂,贴薄膜封装,最终制得图案化石墨烯透明导电薄膜;该制备方法成膜时间短、可实现低成本、大规模的批量生产,而且制备出的石墨烯导电薄膜的导电率高、柔韧性好、图案清晰度高,提高透明导电薄膜的耐酸碱性,并降低成本。 |