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石墨烯薄膜的制备方法 |
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一种石墨烯薄膜的制备方法。该方法的步骤包括:在无氧的环境中,采用离子注入法将碳元素注入到金属基底表层;待所述金属基底冷却后,将其用腐蚀液进行腐蚀,得到石墨烯薄膜。本发明石墨烯薄膜的制备方法只需采用离子注入法在金属基底表面制备石墨烯薄膜,所需时间短,效率高。不需要另外加热的工序,能耗低。该石墨烯薄膜形成在金属基底表面,并通过控制离子注入的量可以灵活控制石墨烯薄膜的厚度,使得石墨烯薄膜面积大,厚度均匀。该离子注入法工艺成熟,使得获得的石墨烯薄膜质量高,生产成本低。 | |
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