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图案化的石墨烯的形成方法 【打印】 【收藏本页】 一种图案化石墨烯的形成方法，包括：提供一半导体硅衬底，图案化所述半导体硅衬底；在图案化的半导体硅衬底表面掺杂碳元素至预定深度形成图案化的含碳层；激光退火所述图案化的含碳层，形成图案化的石墨烯。本发明还提供了一种图案化石墨烯的形成方法。采用本发明能够迅速形成图案化的石墨烯。