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多孔质材料 【打印】 【收藏本页】 多孔质材料 简介： 本技术公开了具有低介电常数＞30％孔洞以及封闭型单元孔结构的多孔性介电材料，以及制备该多孔性介电材料的方法。该材料特别适用于制造电子组件。 全文：详细说明书附图共34页