金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法

金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法

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金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法

简介：

本技术可以提供一种含有氧化剂、氧化金属溶解剂、保护膜形成剂、该保护膜形成剂助剂和水的金属研磨液，其制造方法及使用其的研磨方法。而且作为这种金属研磨液的制备材料，本技术还可以提供一种含有氧化金属溶解剂、保护膜形成剂和该保护膜形成剂助剂的金属研磨液材料。

全文：详细说明书附图共30页