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液体材料的涂布方法及其树脂层形成法
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液体材料的涂布方法及其树脂层形成法
简介: 一种在平板上形成树脂层的方法,包括:(1)在平板(102)的第1主面(112)上涂布作为液体材料的光硬化性树脂组成物(110);(2)然后通过将光硬化性树脂组成物曝光而硬化、形成树脂层,光硬化性树脂组成物的涂布是通过将平板的侧面与导向构件(103、104)大致接触、并使导向构件的上面(114、120)位于相对平板的第1主面大致同一的水平面,在将平板配置于载物台上的状态下进行旋转涂布,而在平板的第1主面涂布光硬化性树脂组成物,形成向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜,将该涂膜曝光。由此,通过旋转涂布可使形成的涂膜厚度均匀化,使最终形成的树脂层的厚度均匀化。
全文:详细说明书附图共33页