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虚设图案自动生成方法
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虚设图案自动生成方法
简介: 本技术的虚设图案自动生成方法包括:第一步,准备多个虚设图案元件,它们各自具有规则排列的虚设图案,且根据预定的规则为这些虚设图案元件设置了优先级;第二步,选择多个虚设图案元件之一,并排列属于被选择的虚设图案元件的虚设图案,使其覆盖设置有排列禁止区的掩模图案布局数据;第三步,从排列的虚设图案中,去除接触或覆盖排列禁止区的虚设图案;和第四步,在多个虚设图案互相接触或覆盖的情况下,去除属于优先级较低的虚设图案元件的虚设图案。
全文:详细说明书附图共41页