用于石墨表面的碳化硅涂层溶液及其喷涂工艺


用于石墨表面的碳化硅涂层溶液及其喷涂工艺
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具体地说是一种用于石墨表面的碳化硅涂层溶液及其喷涂工艺，该溶液采用工业硅粉、石墨粉、石墨胶以及稀释剂四种原料搅拌均匀后配制而成，并使用该溶液对石墨表面进行喷涂工艺。本发明的喷涂工艺可以在石墨表面涂敷一层非完全致密结构的碳化硅涂层，该涂层可以使石墨件表面受到很大程度的保护作用，降低硅蒸汽的腐蚀，可以在多晶硅用氢化炉加热棒、单晶硅用保温桶、加热器、坩埚等主要耗材部件表面使用；在增加成本不大的情况下，可以使这些部件寿命提高40％至100％，显著延长了石墨部件的使用寿命。