制备金属碳化物薄膜及其复合薄膜的方法


制备金属碳化物薄膜及其复合薄膜的方法
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一种金属碳化物及其复合薄膜的制备方法，包括将水溶性金属前驱体、水溶性聚合物和适当溶剂的均一涂敷溶液沉积于基底或将该涂敷溶液渗透于碳纳米管的基底，再将最终的基底置于含有碳源气的气氛中进行加热处理，形成高质量的金属碳化物或其复合薄膜。本发明的有益效果是：可以在基底上直接制备高质量的金属碳化物及其复合薄膜，具有高度结晶、低缺陷、硬度和杨氏模量高等优点，另外，金属碳化物/碳纳米管复合薄膜也具有高度有序的结构和优良的超导性能。这种聚合物辅助沉积制备金属碳化物及其复合薄膜的方法简单易行，具有广阔的应用前景。