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化学机械抛光层的制造方法 【打印】 【收藏本页】 化学机械抛光层的制造方法。提供一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，包括：提供模具；提供具有上表面、底表面和平均厚度为2至10cm的衬套；提供粘合剂；提供包括液体预聚物的可固化材料；提供具有喷嘴开口的喷嘴；提供具有切削刃的切割刀片；提供打磨带；提供打磨复合物；使用粘合剂将衬套的底表面结合至模基体；在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中；使可固化材料在模腔中固化成饼状；将模基体和饼与环绕壁分离；将打磨复合物应用到切削刃；使用打磨带打磨切割刀片；并且将饼切片为多个化学机械抛光层。