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| 具有曲折导电路径的离子源源体丝极 |
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| 具有曲折导电路径的离子源源体丝极 |
| 简介： |
本技术公开了一种离子注入机的离子束电源装置（１０）的丝极极板（８０）。丝极极板是由钨做成的，它有两个空间隔开的缝（９６，９８）。该缝穿过极板的宽度。缝隙的间隔的宽度完全小于１０倍的离子的等离子体Ｄｅｂｙｅ的长度，该等离子体是通过把电子发射到弧室（６２）而形成的。平板丝极被安排在一个弧室中，电离的源材料就被注入到这个弧室之中。板极有两个导电杆（１０６，１０８）被压装到板极的孔中，以便加热板极到离子发射温度。导电杆穿过弧室的边壁中的绝缘开孔。 |
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| 全文：详细说明书附图共13页 | | |
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